半導體行業選擇廢氣治理設備的標準

2022-05-12 15:58:44

次

　　半導體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性，尤其是在晶圓廠制造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機廢氣等，在排放到大氣之前通過VOCs廢氣處理設備去除這些氣體。這需要在大多數半導體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣流的設備。因此鑫源環保提出安全可靠的廢氣處理設備(bei)裝置以及RTO蓄熱式(shi)焚燒設備(bei)，能(neng)夠對這些氣(qi)體(ti)進(jin)行有效處(chu)理。

廢氣處理設備

　　半導體車間(jian)廢氣處(chu)理(li)設備(bei)選(xuan)擇標(biao)準(zhun)：

　　(1)半導體生(sheng)產車間廢氣處理(li)設備的選(xuan)擇(ze)是根據待消除氣體的種類、濃(nong)度、流量和壓(ya)力(li)，減(jian)排設備的處理(li)能力(li)，綜合(he)考慮農藥(yao)的壽命、前(qian)后與設備的關系等多種情(qing)況，挑(tiao)選(xuan)合(he)適(shi)的處理(li)方(fang)法和設備。

　　(2)半導(dao)體生產車間廢氣(qi)處(chu)理設(she)備在混合時(shi)將會爆炸、起火或造成有害物(wu)的氣(qi)體處(chu)理應(ying)該是一個獨立的系統。

　　(3)可能有自(zi)燃(ran)性氣(qi)體或可燃(ran)氣(qi)體流動的排(pai)風管道(dao)采用不燃(ran)材料。

　　(4)不(bu)可以(yi)讓半導體生產車間廢氣(qi)處(chu)(chu)理(li)設備(bei)規格中(zhong)規定的廢氣(qi)以(yi)外(wai)的廢氣(qi)流(liu)(liu)動(dong)，或準(zhun)許大量廢氣(qi)流(liu)(liu)動(dong)超出廢氣(qi)處(chu)(chu)理(li)設備(bei)的處(chu)(chu)理(li)水平。

　　鑫源(yuan)環(huan)保作為一家廢(fei)氣處理設備一站式解(jie)決服(fu)(fu)務(wu)商，公司擁有一支專業、技術(shu)過硬的(de)服(fu)(fu)務(wu)團隊,面對客戶(hu)的(de)需求和(he)利益，我(wo)們(men)將以(yi)全(quan)心全(quan)意的(de)精神，竭誠提供優質的(de)產(chan)品、服(fu)(fu)務(wu)和(he)解(jie)決方案。